Конуси од јонски зрак

SIKAIDA Ion Beam Cones се основни компоненти на системите за имплантација и пренос на јонски зрак. Изработени од напредни керамички материјали со висока чистота и обработени преку прецизно обликување со вбризгување и синтерување со висока температура, тие се карактеризираат со исклучително ниска содржина на нечистотии, отпорност на висока температура и стабилна прецизност на димензиите. Тие можат да се обработат во сложени геометрии за да се исполнат барањата за екстремно висока толеранција, што ги прави погодни за процеси на имплантација на полупроводнички јони со високи перформанси.

Како професионален производител во Кина, SIKAIDA обезбедува сигурни, економични и приспособливи конуси на јонски зрак на клиентите ширум светот во полињата за полупроводници, рамни панели, оптика, микроелектромеханички системи (MEMS) и соларна енергија. SIKAIDA е доверлив долгорочен добавувач и посветен производствен погон за висококвалитетни компоненти на процесот на јонски зрак.

Материјали и производство

1. Материјали

Конусите за јонски зрак користат материјали вклучувајќи алумина (Al2O3) со чистота ≥99,9%, силициум нитрид (Si3N4) со чистота ≥99,5%, циркониум оксид (ZrO2) со чистота ≥99,98%, и .99,98% силициум. Сите материјали ги исполнуваат строгите стандарди за чистота на индустријата за полупроводници и се погодни за барањата за изведба на различни апликации.

2. Процес на производство

Процесот на производство опфаќа прецизно обликување со вбризгување, синтерување на висока температура, CNC прецизна обработка, полирање на ниво на огледало и автоматско чистење и тестирање. Секој процес е строго контролиран за прецизност и квалитет за да се осигура дека финалниот производ ги исполнува индустриските стандарди и барањата на клиентите.

Клучни параметри на производот

1. Точност на димензиите

Конусите со јонски зрак имаат толеранции контролирани во рамките на ±0,05mm, грубост на површината Ra≤0,4μm, точност на конусот на внатрешната дупка ±0,02mm, коаксијалност ≤0,03mm и перпендикуларност ≤0,02mm. Оваа исклучително висока димензионална точност ефикасно ја обезбедува прецизноста на преносот на јонскиот зрак.

2. Површински третман

Површинските третмани вклучуваат механичко полирање за завршна обработка на огледало, облоги зацврстени со УВ за подобрување на својствата на површината, облоги отпорни на гребење за подобрување на отпорноста на абење и киселење и пасивација со киселина за отстранување на нечистотиите и подобрување на стабилноста. Може да се изберат соодветни методи на третман врз основа на барањата за апликација.

3. Индикатори за успешност

Конусите со јонски зрак работат во температурен опсег од -196℃ до +800℃, обезбедувајќи стабилна работа во средини со екстремни температури. Тие поседуваат волуменска отпорност ≥1014Ω·cm и отпорност на површината ≥1012Ω, покажувајќи одлични изолациски својства. Тие, исто така, поседуваат извонредна отпорност на плазма и хемиска корозија, што им овозможува да се прилагодат на сложени процесни средини.

Основни предности

1. Ултра висока чистота: чистотата на суровините надминува 99,9%, минимизирајќи ја контаминацијата на полупроводничките наполитанки, обезбедувајќи стабилни електрични перформанси на уредите и исполнување на строгите барања за чистота на производството на полупроводници.

2. Екстремно висока геометриска точност: Обезбедува конзистентни димензии на производот за време на масовното производство, со контрола на конусната грешка во рамките на ±0,05mm и грешка во заобленоста ≤0,02mm, прецизно одговарајќи на барањата за инсталација и употреба на системите за пренос на јонски зраци.

3. Квалитет на површината налик на огледало: грубост на површината Ra≤0,4μm, ефикасно го намалува расејувањето на јонскиот зрак, ја подобрува униформноста на преносот на јонскиот зрак и дополнително ја оптимизира точноста на имплантација на полупроводничките уреди.

4. Стабилност на широк температурен опсег: Работи стабилно во длабоки криогени до високи температурни средини. Материјалот има екстремно низок коефициент на термичка експанзија, одржувајќи одлична димензионална стабилност дури и при температурни промени, спречувајќи влијание на перформансите од температурни флуктуации.

5. Одлична изолација и отпорност на корозија: ефикасно спречува акумулација на полнеж за време на пренос на јонски сноп и издржува силни киселини, силни алкалии и разни плазма корозии, обезбедувајќи долгорочна стабилна работа во сложени процесни средини.

Прилагодени услуги

Моделите и големини на производи може да се прилагодат според различни барања за процесот. Поддржани формати за цртање вклучуваат STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF и физички примероци. Што се однесува до времето на испорака, испораката на примерокот е 4-7 недели, а испораката на сериски производи е 8-12 недели. Нашиот систем за квалитет е во согласност со стандардите ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH и SEMI, сеопфатно обезбедувајќи квалитет на производот и ефикасност на испораката.

Области за примена

Конусите со јонски зрак се широко користени во повеќе полиња, вклучително и јонски имплантери во производството на полупроводници, опрема за обработка во рамни екрани, системи за таложење на јонски сноп (IBD) и гравирање со јонски сноп (IBE) во производството на оптички уреди, микроелектромеханички системи (MEMS), производство на опрема за импланирање на енергија за соларни ќелии, полупроводнички уреди како што се биполарни транзистори со изолирана порта (IGBT) и моќни MOSFET.

Најчесто поставувани прашања:

П1: Кои материјали обично се користат во конусите со јонски зрак?

А1: Ние првенствено користиме напредни керамички материјали како што се алумина со висока чистота (Al2O3), силициум нитрид (Si3N4) и циркониум оксид (ZrO2). Овие материјали поседуваат исклучително висока чистота, одлична отпорност на високи температури и стабилни електрични својства.

П2: Дали УЕТ може да обезбеди приспособени спецификации и површински третмани? 

А2: Да. UET може да ја прилагоди големината, конусот, типот на материјалот и површинскиот третман на конусите според вашите барања за процесот. Имаме големо искуство во производството и можеме да ги исполниме специфичните барања за апликација на клиентите.

П3: Како се гарантира прецизноста и квалитетот на конусите со јонски зрак?

А3: Го усвојуваме системот за управување со квалитет ISO9001:2015 и сме опремени со опрема за тестирање со висока прецизност, вклучувајќи машина за мерење на координати, тестер за грубост на површината и спектрометар за флуоресценција на Х-зраци, за да се осигураме дека секоја серија производи ги исполнува строгите индустриски стандарди.

П4: Кој е циклусот на испорака?

А4: Циклусот на испорака на примерокот е 4-7 недели, а циклусот на испорака на производи од серија е 8-12 недели. Специфичниот циклус зависи од сложеноста на производот и количината на нарачката.